Spektrometr ESCA-XPS AXIS Nova DLD

Spektrometr AXIS Nova jest całkowicie zautomatyzowanym zestawem spektrometru XPS, co czyni go idealnym rozwiązaniem dla działów kontroli jakości oraz laboratoriów analizujących dużą liczbę próbek. Axis Nova zapewnia analizę nawet małych powierzchni do średnicy 10µm.

Źródło promieniowania X
Dla osiągnięcia jak najmniejszej dyspersji zastosowano 500 mm geometrię Rowlanda, co gwarantuje osiągnięcie rozdzielczości <0,48 eV dla piku rozwiązania Ag 3d dla promieniowania monochromatycznego. Anoda jest przesuwalna w stosunku do katody, co umożliwia jej wymianę bez wyłączania próżni. Można wybrać do pracy jedną z dziesięciu dostępnych pozycji co znacznie przedłuża czas pracy anody.

Źródło jonów
Konstrukcja źródła jonów umożliwia ciągłą zmianę energii w zakresie 50V - 4 kV oraz umożliwia zastosowanie wysokich gęstości prądu dla niskich energii jonów. Zaawansowana automatyzacja umożliwia odcinanie zasilania gazem kiedy nie jest on potrzebny zapewniając niższy koszt użytkowania.

Analiza wiązań C-F i C-H w próbce polimeru.	Przykład profilu głębokościowego.

 

Neutralizacja ładunku
Zastosowano rozwiązanie neutralizacji typu 3D stosowane w spektrometrach AXIS SUPRA DLD, dzięki czemu spektrometr AXIS Nova może być stosowany do analizy próbek nieprzewodzących bez stosowania dodatkowego działa neutralizującego ładunek. Dla próbek izolatorów zapewniona jest również wysoka rozdzielczość (FWHM, <0.68eV dla grupy estrowej w czteroftalanie polietylenu (PET).

Analizator promieniowania
W spektrometrze AXIS Nova zastosowano podwójny analizator sferyczny i chemisferyczny umożliwiający równoległa analizę spektralną jak i obrazowanie/mapowanie próbki. Analizator ten jest autorskim rozwiązaniem firmy Kratos. Zapewnia on w połączeniu z innymi elementami zestawu rozdzielczość lateralną 3 µm.

Detektor DLD
W spektrometrze AXIS Nova jest zastosowany 128 kanałowy detektor DLD. Detektor o dużej liczbie kanałów umożliwia otrzymywanie profili głębokościowych, analizę typu SnapShot oraz obrazowanie/mapowanie jednego wiązania w ciągu 3-4 min. Powierzchnia może zostać zobrazowana w 64000 pikselach.

Obserwacja i transport próbki
Spektrometr wyposażony jest w optyczny system mikroskopowy z kolorową kamerą do obserwacji próbki, który służy również do wyboru miejsca, lub kilku miejsc do analizy. System zawiera też okienko do bezpośredniej obserwacji próbki. Zestaw umożliwia magazynowanie trzech uchwytów o wymiarze 110 mm. czyli można w nim przechowywać nawet kilkaset próbek zależnie od ich wielkości. Uchwyty przenoszone są do komory analitycznej za pomocą w pełni zautomatyzowanego sytemu komputerowego.